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公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。公司主要围绕等离子体工艺打造产品矩阵，自研产品具体包括等离子体射频电源系统（等离子体射频电源及匹配器）、等离子体激发装置（远程等离子体源、射频离子源）、等离子体直流电源、配件（滤波器、阻抗调整器等），引进产品主要包括真空获得和流体控制分别所需的真空泵、质量流量计等核心零部件；同时还为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修等技术服务。公司主要采用以销定产的生产模式，将等离子体射频电源系统等自研产品及引进产品销售给半导体、光伏、显示面板、精密光学等领域的下游客户，并提供技术服务；公司采用自主研发的模式，形成具有竞争力的产品，并通过直销模式销售。

主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务

乐卫平

董事长
乐卫平

董事
吴黎明,刘涛,杨喜荣,俞日明

独立董事
刘彭义,王天东,赖小琼

IR@csl-vacuum.com

總股本：67,701,688

A股總股本：67,701,688

流通A股：16,930,559

限售A股：50,771,129

其他股本：0

B股：0

H股：0

更新日期：16/01/2026

每股收益(人民幣)*：2.790元

每股派息(人民幣)*：--元

每股淨資產(人民幣)*：13.390元

市值(人民幣)：--億