滬深光刻機概念早盤大漲，波長光電(深:301421)、奧普光電(深:002338)、永新光學(滬:603297)及凱美特氣(深:002549)多股漲停，蘇大維格(深:300331)升9.6%，茂萊光學(滬:688502)揚9.8%，賽微電子(深:300456)彈8%，炬光科技(滬:688167)、新萊應材(深:300260)升幅居前。

　　英國《金融時報》報道，中芯國際(00981)(滬:688981)正在測試中國首款國產先進芯片生產設備。兩位知情人士透露，中芯測試的是由上海初創公司宇量昇生產的DUV光刻機。這款機器用的是浸沒式技術，類似於艾司摩爾(ASML)採用的技術。目前尚不清楚該機器是否以及何時能用於大規模芯片生產。

　　中芯國際未回應媒體置評請求，公司A股漲近7%，H股亦升4.9%。
《經濟通通訊社17日專訊》

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