行业 | 制造业 | ||||||||||||||||||||||||
集团简介 | 华海清科是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商,主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务,主要产品为化学机械抛光(CMP)设备。CMP是先进集成电路制造前道工序、先进封装等环节必需的关键制程工艺,公司所生产CMP设备可广泛应用于12英寸和8英寸的集成电路大生产线,产品总体技术性能已达到国内领先水平。公司推出了国内首台拥有核心自主知识产权的12英寸CMP设备并实现量产销售,是目前国内唯一一家为集成电路制造商提供12英寸CMP商业机型的高端半导体设备制造商;公司所产主流机型已成功填补国内空白,打破了国际巨头在此领域数十年的垄断,有效降低了国内下游客户采购成本及对国外设备的依赖,支撑国内集成电路产业的快速发展。 公司自成立以来始终以集成电路产业需求为导向,坚持自主创新的发展路线,在基础理论、关键技术、整机装备、成套工艺等贯穿式研究成果基础上,对标国际发展趋势,以更先进制程、更高产能、更低成本为重要突破方向。公司核心研发团队先后承担、联合承担了两项“国家科技重大专项(02专项)”及三项国家级重大项目/课题,针对纳米级抛光、纳米颗粒超洁净清洗、纳米精度膜厚在线检测、大数据分析及智能化控制等CMP设备核心关键技术取得了有效突破和系统布局,打破了国外巨头的技术垄断,真正实现了国内市场CMP设备领域的国产替代。 公司研制的CMP设备产品全面覆盖集成电路制造过程中的非金属介质CMP、金属薄膜CMP、硅CMP等抛光工艺并取得量产应用,高端CMP设备的工艺技术水平已在14nm制程验证中,形成了硬件+技术服务的全方位体系。公司曾荣获“天津市科学技术奖(技术发明)一等奖”、“中国机械工业科学技术奖(技术发明)特等奖”、“2018年度、2019年度中国半导体创新产品和技术奖”、“中国好设计金奖”等荣誉。截至2021年12月31日,公司拥有国内外授权专利209项,其中发明专利114项、实用新型专利95项,拥有软件著作权7项;公司CMP设备已累计出货超140台,未发出产品的在手订单超70台,设备已广泛应用于中芯国际、长江存储、华虹集团、英特尔、长鑫存储、厦门联芯、广州粤芯、上海积塔等国内外先进集成电路制造商的大生产线中。 此外,公司以自有CMP设备和自主CMP技术为依托,针对下游客户生产线控片、挡片的晶圆再生以及设备关键耗材采购、维保等需求,积极拓展晶圆再生业务、关键耗材销售和维保等技术服务业务,报告期内已成功获得业务订单并形成规模化销售。 | ||||||||||||||||||||||||
主营业务 | 半导体专用设备的研发、生产销售及技术服务 | ||||||||||||||||||||||||
法人代表 | 张国铭 | ||||||||||||||||||||||||
公司高管 |
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五大股东 |
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董事会秘书 | 王同庆 | ||||||||||||||||||||||||
法律顾问 | 北京海润天睿律师事务所 | ||||||||||||||||||||||||
会计师事务所 | 立信会计师事务所(特殊普通合伙) | ||||||||||||||||||||||||
公司电话 | 022-59781962 | ||||||||||||||||||||||||
公司传真 | 022-59781796 | ||||||||||||||||||||||||
公司网址 | http://www.hwatsing.com | ||||||||||||||||||||||||
电子邮件 | ir@hwatsing.com | ||||||||||||||||||||||||
公司地址 |
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上市日期 | 08/06/2022 | ||||||||||||||||||||||||
股本 |
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财务数据 |
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备注: | *未调整数据 |
只提供简体内容 |