《經濟通通訊社28日專訊》中芯國際(00981)表示,與荷蘭阿斯麥(ASML)公
司簽訂一份光刻設備批量購買協議。這份批量購買訂單價值近4﹒5億歐元,是雙方戰略合作的
一部分,有助於中芯提升先進技術製造能力。
光刻是在晶圓上通過光刻蝕形成複雜晶體管結構,是半導體製造過程中至關重要的一步。根
據協議,阿斯麥將提供光刻儀,例如為量產32納米及更先進工藝節點的300毫米晶片而設計
的TWINSCANNXT系統,該系統的一些特殊優勢包括提升每片晶圓的生產效率、對準精
度和成像分辨率。(cy)
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